渦旋的概念相當(dāng)久遠(yuǎn)，20世紀(jì)初世界上就已經(jīng)有了渦旋技術(shù)的專利。但由于當(dāng)時(shí)技術(shù)水平的限制，渦旋機(jī)構(gòu)制造不出來，渦旋的概念也就被淡忘了。1973年渦旋機(jī)構(gòu)被重新提起并制造出第一臺(tái)模型機(jī)構(gòu)，使這項(xiàng)技術(shù)實(shí)際應(yīng)用成為可能。渦旋機(jī)構(gòu)的可靠性高、運(yùn)行平穩(wěn)、噪音極低、節(jié)省能源等潛力和巨大優(yōu)勢(shì)馬上引起了冰箱行業(yè)的重視和迫切需求，大受行業(yè)領(lǐng)先者青睞，迅速被投入工業(yè)化應(yīng)用。今天渦旋技術(shù)已經(jīng)由初期的應(yīng)用在壓縮機(jī)行業(yè)推廣到真空泵制造業(yè)，實(shí)現(xiàn)了全無油、運(yùn)行更平穩(wěn)、噪音更低、更加節(jié)省能源的渦旋清潔真空獲得技術(shù)的實(shí)用化。2、渦旋無油真空泵(0-Ifreescrollvacuumpump)的特點(diǎn)與應(yīng)用領(lǐng)域 清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境。自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開始，人們就試圖采用不同手段達(dá)到清潔真空的效果。時(shí)至今日，清潔真空獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、柱賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品。在現(xiàn)有的無油真空泵當(dāng)中，渦旋無油真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有運(yùn)行平穩(wěn)、噪音低、節(jié)省能源、重量輕、體積小的特點(diǎn)并已經(jīng)被廣泛應(yīng)用到下述科學(xué)研究與生產(chǎn)領(lǐng)域：①半導(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；②真空冶金行業(yè)——真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備；③科學(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測(cè)試儀器；④醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、透析機(jī)；⑤生物制品行業(yè)——材料提純、藥品制備；⑥包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。 3、渦旋無油真空泵工作原理、技術(shù)指標(biāo)以及與普通油泵的對(duì)比 渦旋無油真空泵的渦旋盤就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋形成一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤組成的一對(duì)渦旋盤付構(gòu)成了渦旋無油真空的基本抽氣機(jī)構(gòu)。例如在雙級(jí)渦旋無油真空泵中，有兩個(gè)方向?qū)?yīng)的固定渦旋盤，一個(gè)位于兩個(gè)渦旋盤之間的轉(zhuǎn)動(dòng)渦旋盤。動(dòng)、靜渦旋盤相對(duì)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。4、渦旋無油真空泵的優(yōu)點(diǎn)及其能給用戶解決的問題 4.1渦旋無油真空泵性能優(yōu)越:渦旋真空泵的主要優(yōu)點(diǎn)是間隙曉、泄漏少，具有較高的壓縮比，在較寬的陋力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速，工作壓力范圍寬；由于壓縮腔容積的變化市連續(xù)的，因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小，功率變化小，振動(dòng)噪聲低，可靠性高。這是其它類型的干式真空泵所不具備的。 4.2渦旋無油真空泵解決了污染與振動(dòng)等基礎(chǔ)、共性問題:由于普通旋片油泵的漏油、噪聲、返油污染、高能耗以及振動(dòng)等問題給用戶造成不良影響，如生物制品行業(yè)與半導(dǎo)體行業(yè)的油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油閥題。真空鍍膜設(shè)備的鍍膜工藝中，在20~40Pa真空條件下鍍膜時(shí)，如果應(yīng)用普通旋片機(jī)械真空泵作為前級(jí)真空泵將對(duì)鍍膜工藝設(shè)備造成污染，影響成膜量。半導(dǎo)體晶片制造工藝當(dāng)中使用油泵與使用干泵相比，成品率存在509l左奮涸的差距，并且排出的油霧蒸汽對(duì)環(huán)境也有污染�？茖W(xué)儀器行業(yè)尤其是在分析試儀器行業(yè)，采用油泵對(duì)測(cè)試結(jié)果將造成不良影響。大型同步輻射光束線上采涸用渦旋無油真空泵作為前級(jí)真空泵的作用也相當(dāng)明顯。另外渦旋無油真空泵消酒除了普通油泵的漏油給用戶帶來的環(huán)境污染與煩惱。 4.3渦旋無油真空泵使系統(tǒng)制造與運(yùn)行成本降低:為防止普通旋片油真空泵對(duì)真空系統(tǒng)的返油污染，需要在抽氣系統(tǒng)中加冷阱捕獲油分子；系統(tǒng)運(yùn)行過程當(dāng)中還需要定期清洗除油；有的需要定期更換真空泵油。采用渦旋無油真空泵第一不需要加冷阱之類捕油機(jī)構(gòu)、第二不需要換真空泵油、第三振動(dòng)更小、運(yùn)行更平穩(wěn)、第四能耗降低、第五重量更輕、第六突破了油泵使用范圍的限制，使渦旋無油真空泵成為普通旋片油真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。國內(nèi)以半導(dǎo)體、電子工業(yè)為代表的制造工藝當(dāng)中和科學(xué)研究與分析測(cè)試行業(yè)迫切需要無油污染的清潔真空環(huán)境，但是清潔真空獲得設(shè)備如冷凝泵、柱奏泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等目前都沒有形成可靠先進(jìn)的批量國產(chǎn)產(chǎn)品。進(jìn)口渦旋無油真空泵作為一種在中國市場(chǎng)不超過3年的產(chǎn)品，由于價(jià)格、市場(chǎng)的開拓和用戶的認(rèn)識(shí)程度等原因，沒有形成良性循環(huán)。這樣，一方面是迫切的市場(chǎng)需求，另一方面從價(jià)格與技術(shù)雙方面看沒有合適產(chǎn)品，造成了極大的市場(chǎng)缺口。 毫無疑問價(jià)格適中、性能可靠的渦旋無油真空泵將成為適合中國市場(chǎng)要求產(chǎn)品的主流，大力發(fā)展無旋無油真空泵勢(shì)在必行。研制符合中國市場(chǎng)要求的渦旋類及其它無油真空泵系列產(chǎn)品及其檢測(cè)技術(shù)手段也成為中國真空獲得行業(yè)進(jìn)一步發(fā)展的一個(gè)契機(jī)。 為解決我國科學(xué)研究和新材料、半導(dǎo)體等行業(yè)發(fā)展面臨的技術(shù)手段存在的基礎(chǔ)、共性問題，近年來已經(jīng)不斷有業(yè)內(nèi)專家向國內(nèi)介紹渦旋無油真空泵技術(shù)及其發(fā)展現(xiàn)狀，國外渦旋無油真空泵生產(chǎn)廠家與代理對(duì)中國市場(chǎng)的開發(fā)使其在中國市場(chǎng)的銷量在逐年增長。
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