羅茨真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。其結(jié)構(gòu)形式是由羅茨鼓風機演變而來的。它于1944年首先出現(xiàn)于德國，是為適應(yīng)在 10 ～ 1000Pa 壓力范圍內(nèi)具有大抽速的真空熔煉系統(tǒng)而作為機械增壓泵使用。
根據(jù)羅茨真空泵工作壓力范圍的不同，分為
1、低真空羅茨泵：直排大氣的干式單級羅茨泵(10000Pa)和濕式羅茨泵(2000Pa)；
2、中真空羅茨泵：機械增壓泵(1×10-1 Pa)；
3、高真空羅茨泵：多級干式羅茨泵(高真空多級羅茨泵)；
羅茨真空泵與其它油封式機械泵相比有以下特點：
1、在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;
2、泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;
3、轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動功率，從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速;
4、泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;
5、壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差;
6、轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。
羅茨泵在真空工程領(lǐng)域中應(yīng)用
1、在中真空范圍作為增壓泵使用，一般與前級泵(旋片式真空泵泵，水環(huán)式真空泵等)串聯(lián)構(gòu)成真空機組；
2、雙級或多級羅茨泵機組可獲得高真空；
3、對于干式清潔無油的抽氣系統(tǒng)多用氣冷式羅茨泵機組；
4、對于含水蒸氣的被抽系統(tǒng)，多用濕式羅茨泵；
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